Вакуумная
ионно-плазменная автоматизированная установка "Квинта" предназначена
для дугового азотирования и плазменно-ассистированного нанесения
наноструктурных покрытий.
Применение установки -
научные исследования в области формирования упрочняющих и защитных покрытий на
инструмент, пары трения с использованием многокомпонентных композиционных
катодов.
Установка полностью
автоматизирована с целью точной воспроизводимости комплексных
технологических процессов. В составе программы управления присутствует
технологическая карта для осуществления сотен различных шагов в едином
технологическом цикле.
Состав ионно-плазменной установки.
Перечень основных систем установки:
1. Технологический модуль 1 шт.
2. Система прогрева рабочей камеры и
охлаждения 1 шт.
3. Система газового питания 1 шт.
4. Функциональные устройства 1 шт.
5. Система управления 1 шт.
6. Программное обеспечение на установку 1
шт.
7. Система электрического питания 1 шт.
Технические характеристики установки.
1. Размеры установки (ориентировочно) -
2500(длина)?2500(ширина)?2300(высота) мм2
2. Вес (ориентировочно) - до
3. Потребляемая мощность - до 70 кВт
4. Напряжение питания - 3 фазы 380/220 В
5. Рабочее давление - 0,1 - 2 Па
6. Водяное охлаждение - не более 3 м3/час
7.
Скорость нанесения покрытий - до 5 мкм/ч
Характеристики функциональных узлов установки.
Генератор
газовой плазмы с накаленным и полым катодом «ПИНК-П-06М»:
1) Размеры (ориентировочно) - 490х260х850
мм;
2) Водяное охлаждение - 0,3 м3/час;
3) Рабочее давление 0.4 - 1.2 Па;
4) Вес (ориентировочно) -
5) Ток дуги - до 150 А.
Протяженный дуговой испаритель
прямоугольным катодом и системой перемещения катодного пятна:
1) Размеры (ориентировочно) - 120х210х740
мм;
2)Размеры катода - 110х600 мм
3) Водяное охлаждение - 0,3 м3/час;
4) Рабочее давление 0.1 - 0.4 Па;
5) Вес (ориентировочно) -
6) Ток дуги - до 200 А.
7) Скорость напыления покрытий - до 5
мкм/час.
Наличие разных типов плазмогенераторов
позволяет гибко подбирать параметры технологических процессов для обработки
деталей различных сложных форм и деталей большой протяженности.
Интерфейс программного обеспечения
Установка полностью автоматизирована и
позволяет проводить технологические процессы по технологической карте в
автоматическом режиме, что обеспечивает высокую повторяемость результатов
технологических процессов.