|
Вакуумная ионно-плазменная установка "Квинта"Вакуумная
ионно-плазменная автоматизированная установка "Квинта" предназначена
для дугового азотирования и плазменно-ассистированного нанесения
наноструктурных покрытий. Применение установки -
научные исследования в области формирования упрочняющих и защитных покрытий на
инструмент, пары трения с использованием многокомпонентных композиционных
катодов. Установка полностью
автоматизирована с целью точной воспроизводимости комплексных
технологических процессов. В составе программы управления присутствует
технологическая карта для осуществления сотен различных шагов в едином
технологическом цикле. Состав ионно-плазменной установки. Перечень основных систем установки: 1. Технологический модуль 1 шт. 2. Система прогрева рабочей камеры и
охлаждения 1 шт. 3. Система газового питания 1 шт. 4. Функциональные устройства 1 шт. 5. Система управления 1 шт. 6. Программное обеспечение на установку 1
шт. 7. Система электрического питания 1 шт. Технические характеристики установки. 1. Размеры установки (ориентировочно) -
2500(длина)?2500(ширина)?2300(высота) мм2 2. Вес (ориентировочно) - до 3. Потребляемая мощность - до 70 кВт 4. Напряжение питания - 3 фазы 380/220 В 5. Рабочее давление - 0,1 - 2 Па 6. Водяное охлаждение - не более 3 м3/час 7.
Скорость нанесения покрытий - до 5 мкм/ч
Характеристики функциональных узлов установки. Генератор
газовой плазмы с накаленным и полым катодом «ПИНК-П-06М»: 1) Размеры (ориентировочно) - 490х260х850
мм; 2) Водяное охлаждение - 0,3 м3/час; 3) Рабочее давление 0.4 - 1.2 Па; 4) Вес (ориентировочно) - 5) Ток дуги - до 150 А. Протяженный дуговой испаритель
прямоугольным катодом и системой перемещения катодного пятна: 1) Размеры (ориентировочно) - 120х210х740
мм; 2)Размеры катода - 110х600 мм 3) Водяное охлаждение - 0,3 м3/час; 4) Рабочее давление 0.1 - 0.4 Па; 5) Вес (ориентировочно) - 6) Ток дуги - до 200 А. 7) Скорость напыления покрытий - до 5
мкм/час.
Наличие разных типов плазмогенераторов
позволяет гибко подбирать параметры технологических процессов для обработки
деталей различных сложных форм и деталей большой протяженности. Интерфейс программного обеспечения
Установка полностью автоматизирована и
позволяет проводить технологические процессы по технологической карте в
автоматическом режиме, что обеспечивает высокую повторяемость результатов
технологических процессов. |
|