Технические данные
Габаритные размеры составных частей
установки, мм, не более:
Технологический модуль (корпус) - 1300х800х1600;
Стойка управления - 800х600х2000;
Размеры рабочей камеры, мм
Диаметр - 800;
Высота - 180.
Масса установки, кг, не более - 1000
ВЧ-магнетрон - 1;
Максимальная скорость нанесения покрытий, мкм/ч, не менее - 0,2
Максимальная нагрузка на ось держателя деталей (стола), кг - 2;
Потребляемая мощность, кВт, не более - 10
Напряжение питающей сети, В - 380±19 /220±11
Число фаз питающего напряжения - 3
Частота напряжения питания, Гц - 50-60
Предельное давление в рабочей камере, Па, не более - 6.7×10-2
Расход воды в системе охлаждения, м3/час, не более - 1
Загрузка и выгрузка деталей – ручная
Поддержание давления газов в камере на заданном уровне – автоматическое.
Охлаждение устройств агрегата осуществляется
водой.
Автоматизированная система управления (АСУ) установки, конструктивно выполненная в виде отдельного блока, состоит из управляющего персонального компьютера и технологического контроллера ADAM серии 5000